FS100 / FS200 / FS300

　　 贴合硅片的大容量检查和扩大影像,一次测量即可把硅片,JEDEC托盘等大范围测量以高分辨率再现。高解析度的大容量数据影像被扩大后在作详细观察时还可继续获得各种精确结果。

　　具备最高扫描速度1000mm/s的扫描器、因有连续测量时的跳跃功能、促使测量效率得到更大提高。根据测量目的可选择调节解析度、速度、间隔、跳线等功能而得到良好的测量结果。进行栅极测定时装入JEDEC托盘删格内的IC部件等进行逐个扫描，使用批量同检功能可对删格内的大量IC部件作多项检测，大大缩短了有效检测时间，同时JEDEC托盘的删格与样品尺寸大小发生差异时，托盘上的各样品件高度与中心位置也可自动检测、补偿其误差。

○ 复数窗口表示

　　 测量平台与复数的处理平台可同时表示。复数的影像及超声波波形数据同时表示，可边比较边测量。

○ 丰富的解析功能

　　 装有距离测量、角度测量、轨迹、频度、波形测量功能、缺陷评价等丰富的测量和解析功能，可针对不同用途的各种数据从不同角度进行解析和评价。